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  • 产品名称：电镜刻度标准参照物（校准）SPM AFM SEM

  • 产品型号：无
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
电镜刻度标准参照物（校准）SPM AFM SEM
详情介绍：

电镜刻度标准参照物（校准）SPM AFM SEM

应用：

o  安装在样品台上，快速核对空间尺寸。

o  定期进行显微镜的刻度和性能检查

o  **时间获得高放大倍率和sub-micron-scale。

o  **获得从0.3um到30um的尺寸，仅用一个刻度参照物。

o  分析变形失真原因。

技术参数：

 

301CE & 701CE

302CE & 702CE

301BE**

Substrate

Silicon Wafer

Silicon Wafer

Silicon Wafer

Top Surface

60 nm Tungsten film

60 nm Tungsten film

Ti pattern on Si

Physical Size

3mm x 4mm x 0.5mm

3mm x 4mm x 0.5mm

3mm x 4mm x 0.5mm

Accuracy

± 3%

± 3%

± 1%

Nominal Dimensions

(x)

(x, y)

(x)

300 nm for 301CE

300 nm for 302CE

300 nm for 301BE

700 nm for 701CE

700 nm for 702CE

 

Availability

mounted or unmounted*

mounted or unmounted*

mounted or unmounted*

沪公网安备 31010902002433号